下载一种陶瓷基片的研磨方法的技术资料

文档序号:33122969

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本发明公开了一种陶瓷基片的研磨方法,平整处理陶瓷基片表面,采用分段梯度增速的方式增大上磨盘和下磨盘的转速A,采用分段梯度增压的方式增大上磨盘对陶瓷基片的加工压力B,避免造成划痕;减薄陶瓷基片厚度,继续增大上磨盘和下磨盘的转速A,增大上磨盘对...
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