温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了电镀挂具和电镀装置，所述电镀挂具包括下载板、固定结构、多个导电结构和阴极接口，所述下载板上设有多个用于放置晶圆的晶圆槽，所述固定结构用于将多个所述晶圆固定在对应的所述晶圆槽内，用于使各所述晶圆的背面密封，且使各晶圆的正面外露；多...该专利属于青岛惠科微电子有限公司北海惠科半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛惠科微电子有限公司北海惠科半导体科技有限公司授权不得商用。