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表面发光半导体激光元件制造技术
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下载表面发光半导体激光元件的技术资料
文档序号:3312007
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一种表面发光半导体激光元件,包括衬底、配置在衬底上的包括半导体多层的下反射体、配置在下反射体上的有源层、配置在有源层上的包括半导体多层的上反射体、具有暴露上反射体的第一开口并且在上反射体上延伸的化合物半导体层,以及配置在第一开口的内部的具有...
该专利属于索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼株式会社授权不得商用。
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