温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了晶片打磨技术领域的一种砷化镓单晶机械抛光设备，包括支撑机构，其特征在于：还包括有打磨机构、转换机构和夹手；所述夹手滑动安装在支撑机构上端，所述打磨机构安装在支撑机构中间位置，所述转换机构固定安装在支撑机构上，且分别与打磨机构和夹...
该专利属于苏州诺富微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州诺富微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。