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本实用新型属于化工工艺生产设备领域，公开了一种化学沉积炉加热系统，加热系统包括设置在炉体的上层内周与沉积室之间的上加热器层、设置在炉体的下层内周与坩埚之间的下加热器层、控制上加热器层和下加热器层的PLC系统，上加热器层包括上独立加热器，每个...
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