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本实用新型公开了一种用于对半导体废气进行处理的净化设备，包括反应室、净水箱、冷却塔及第一水泵，本方案中改进结构，在净水箱上固定反应室及冷却塔，在净水箱内下部一侧固定隔离箱，隔离箱侧面开口并固定过滤板，隔离箱上方箱壁安装喷头，净水箱内喷头水洗...
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