下载MOCVD反应系统及REBCO高温超导带材的制法的技术资料

文档序号:33093007

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种MOCVD反应系统以及采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法,其中MOCVD反应系统包括:MOCVD反应腔,布置于MOCVD反应腔内的加热基板,设于所述加热基板上方的气体分配器;所述气体分配器包括其上竖向贯通开设多...
该专利属于东部超导科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部超导科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。