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本申请涉及一种MOCVD反应系统以及采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法,其中MOCVD反应系统包括:MOCVD反应腔,布置于MOCVD反应腔内的加热基板,设于所述加热基板上方的气体分配器;所述气体分配器包括其上竖向贯通开设多...该专利属于东部超导科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部超导科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本申请涉及一种MOCVD反应系统以及采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法,其中MOCVD反应系统包括:MOCVD反应腔,布置于MOCVD反应腔内的加热基板,设于所述加热基板上方的气体分配器;所述气体分配器包括其上竖向贯通开设多...