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本发明公开了一种用于电路板孔金属化的立式传动装置,属于真空设备技术领域,包括运输组件模块、导轨模块、偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块。本发明通过偏压上电模块和运输组件模块的设置,可以实现溅射过程中,PCB板移动时能持续稳定加持工作电...该专利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第三十八研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种用于电路板孔金属化的立式传动装置,属于真空设备技术领域,包括运输组件模块、导轨模块、偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块。本发明通过偏压上电模块和运输组件模块的设置,可以实现溅射过程中,PCB板移动时能持续稳定加持工作电...