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一种低电容的单向ESD保护器件及其制造方法技术
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文档序号:33089504
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本发明公开了一种低电容的单向ESD保护器件,其P型材料正面设置P型倒掺杂区,P+扩散区,N+扩散区;N+扩散区上设置深能级杂质掺杂区;相邻两P+扩散区之间,以及相邻两N+扩散区之间,各设置介质层。介质层上分别设置阳极、阴极金属层。一种低电容...
该专利属于成都吉莱芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都吉莱芯科技有限公司授权不得商用。
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