下载一种待转移器件的位置识别方法及设备的技术资料

文档序号:33087066

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本申请提供一种待转移器件的位置识别方法及设备;在转移设备的目标基台上承载的Wafer的分布区域中,识别到目标标记区域后,确定目标标记区域对应的标记点的第一目标位置坐标,分布区域为待转移器件在Wafer中的占用区域,基于第一目标位置坐标和标记...
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