下载实现在体压力传感器长期性能稳定的方法的技术资料

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一种实现在体压力传感器长期性能稳定的方法,通过在PDMS膜上通过化学气相沉积的方法沉积了一层parylene材料,由于parylene沉积层的存在,阻隔了压力腔内部界面流体与生物组织液的相互渗透,保证了压力腔内部化学成分和界面流体体积的稳定...
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