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本发明公开了一种可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法，在该装置中，相互正交的线偏振光光束经过第一扩束系统进行扩束后，通过偏振分光棱镜分成第一S偏振光和第一P偏振光；第一S偏振光经过第一四分之一波片和参考反射镜后回到偏振分光棱镜；第一P偏振光...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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