可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法，在该装置中，相互正交的线偏振光光束经过第一扩束系统进行扩束后，通过偏振分光棱镜分成第一S偏振光和第一P偏振光；第一S偏振光经过第一四分之一波片和参考反射镜后回到偏振分光棱镜；第一P偏振光经过第二四分之一波片、扫描系统、第二扩束系统、待测光学平面后回到偏振分光棱镜；两束光束经过合束后又经过分光镜的作用分成第一子光束和第二子光束；第一子光束依次经过第三四分之一波片、第二偏振片后在第一光电探测器上形成全息图像；第二子光束依次经过第一偏振片、第三扩束系统后被第二光电探测器接收形成测量信号，从而可以基于全息图像和测量信号计算待测光学平面的平面度误差。学平面的平面度误差。学平面的平面度误差。

【技术实现步骤摘要】
可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法


[0001]本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法。

技术介绍

[0002]随着光电相关技术的日益发展，精密加工水平的迅速提高和空间光学、大型激光装置等领域的要求日趋严格，大尺寸光学系统的应用越来越广泛。因而能够在满足几百毫米至米级的测量范围的情况下，实现对光学平面亚微米/纳米量级精确测量是必须要加以解决的一个重要问题。
[0003]目前，对于超大尺寸光学平面的检测方法包括直接测量法、刀口阴影法、干涉法、干涉仪子孔径拼接/扫描法等。直接测量法通过使用如探针或测微头等接触式探测装置结合三维精密移动装置，对光学平面进行驻点测量然后进行数据处理重构整个面型。直接测量法的好处在于可以测量任意大小的光学平面，但是其测量精度受制于测量系统的移动精度，测量精度较低。刀口阴影法利用阴影法检测光学平面的参数，该方法的测量精度和检验者的肉眼判断有关，具有很强的主观性，难以对光学平面进行高精度定量检测。干涉仪法通过测量待测平面与参考标准平面的干涉图案，进而测量相应面形，可以获得可靠的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可视化超大尺寸光学平面检测装置，其特征在于，包括：双频激光器、第一扩束系统、偏振分光棱镜、第一四分之一波片、参考反射镜、第二四分之一波片、扫描系统、第二扩束系统、分光镜、第三四分之一波片、第二偏振片、第一光电探测器、第一偏振片、第三扩束系统、第二光电探测器，所述第二光电探测器在所述可视化超大尺寸光学平面检测装置中的位置可变，所述扫描系统包括相互配合的第一五角棱镜和第二五角棱镜；所述双频激光器用于输出一对相互正交的线偏振光光束；所述第一扩束系统用于对所述一对相互正交的线偏振光光束进行扩束，以形成扩束平行光；偏振分光棱镜用于将所述扩束平行光分成第一S偏振光和第一P偏振光两部分；所述第一S偏振光依次经过所述第一四分之一波片和所述参考反射镜的作用后回到所述偏振分光棱镜；所述第一P偏振光依次经过所述第二四分之一波片、所述扫描系统、第二扩束系统、以及待测光学平面的作用后回到所述偏振分光棱镜；回到所述偏振分光棱镜的两束光束经过合束后经过所述分光镜的作用分成第一子光束和第二子光束；所述第一子光束依次经过所述第三四分之一波片、所述第二偏振片后在所述第一光电探测器上形成反应待测光学平面上平面度变化的全息图像；所述第二子光束依次经过所述第一偏振片、所述第三扩束系统后被所述第二光电探测器接收形成测量信号；计算单元，用于基于所述全息图像和所述测量信号计算所述待测光学平面的平面度误差。2.如权利要求1所述的可视化超大尺寸光学平面检测装置，其特征在于，还包括：聚焦透镜，用于将所述第一四分之一波片输出的光束聚焦至所述参考反射镜。3.如权利要求1所述的可视化超大尺寸光学平面检测装置，其特征在于，所述第一扩束系统包括依次设置在所述线偏振光光束传输光路上的第一光学透镜、针孔滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔祥悦，栗洋洋，彭晴晴，陈强华，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：