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本发明公开了一种可分离多层GaN衬底的分离方法，将可分离多层GaN衬底浸入腐蚀液中，使氮化物牺牲层浸没于所述腐蚀液中；提供一光源，该光源向可分离多层GaN衬底照射一光束，所述光束透过所述GaN基层在所述氮化物牺牲层上形成光斑；移动光斑，使得...
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