下载一种基于阴影法的微小位移测量装置及方法的技术资料

文档序号:33081256

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本发明公开了一种基于阴影法的微小位移测量装置及方法,包括测量系统和电控位移台,测量系统包括粘弹性胶体、工作台、平行光源、图像传感器,待测位移施加在工作台上,粘弹性胶体与圆柱支撑杆接触的表面发生凹陷,平行光源出射圆形光斑到工作台的其中任意一个...
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