下载流量控制器及驱动装置的技术资料

文档序号:33079074

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流量控制器(10)及驱动装置(40)具备:连接在动作切换阀(38)与气缸(30)之间并对气缸(30)的缸室(24)进行空气的供给、排放的第一流路(12);设置于第一流路(12)的第一流量调整部(16);与第一流路(12)并联设置的第二流路(...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。

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