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离子分析装置制造方法及图纸
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文档序号:33076231
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一种离子分析装置,具备:反应室(2),其被导入源自试样成分的前体离子;自由基生成部,其具有绝缘管551和使该绝缘管的内部发生放电的放电部(54、552);气体供给部(52、53),其能够向绝缘管的内部供给第一气体和第二气体,其中,该第一气体...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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