下载具有防碰撞间隙结构的光掩模盒的技术资料

文档序号:33074501

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本发明提供一种具有防碰撞间隙结构的光掩模盒,用以容置一光掩模。光掩模盒包含:一基座及多个支撑装置。支撑装置设于该基座上,支撑该光掩模,该光掩模的一底面的一外围区域与该基座的一朝上顶面之间形成一第一间隙,该基座的底面的一中央区域与该基座的朝上...
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