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具有防碰撞间隙结构的光掩模盒制造技术
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下载具有防碰撞间隙结构的光掩模盒的技术资料
文档序号:33074501
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本发明提供一种具有防碰撞间隙结构的光掩模盒,用以容置一光掩模。光掩模盒包含:一基座及多个支撑装置。支撑装置设于该基座上,支撑该光掩模,该光掩模的一底面的一外围区域与该基座的一朝上顶面之间形成一第一间隙,该基座的底面的一中央区域与该基座的朝上...
该专利属于家登精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过家登精密工业股份有限公司授权不得商用。
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