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本发明属于晶圆技术领域，尤其是一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，包括机架，还包括安装在所述机架上的槽盖、清洗槽体、支撑装置、过滤装置以及冲洗装置；两个所述槽盖铰接设置在所述机架的顶部两侧，所述清洗槽体固定安装在所述机架的内壁。该半导体晶...
该专利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智程半导体设备科技（昆山）有限公司授权不得商用。

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