下载一种GOI测试电路结构的技术资料

文档序号:33071509

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本发明提供一种GOI测试电路结构,包括形成于一衬底内的多个呈条状且平行设置的AA区,相邻的AA区之间形成有STI,衬底上依次形成有栅氧化层、多晶硅栅极和多个计数结构,所有计数结构平行设置,每个计数结构对应设置在一个STI上方,每个计数结构靠...
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