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本发明公开了一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列,对于阵列设置的各VCSEL激光器,独立在其外部增加一个环形加热器,来对VCSEL激光器进行分别进行加热。通过控制各加热器的电流大小,使得半导体材料制备的环形加热器发热后产生不同的热量,...该专利属于深圳市中科光芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市中科光芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列,对于阵列设置的各VCSEL激光器,独立在其外部增加一个环形加热器,来对VCSEL激光器进行分别进行加热。通过控制各加热器的电流大小,使得半导体材料制备的环形加热器发热后产生不同的热量,...