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本实用新型公开了一种稳定性强的沟槽IGBT芯片,涉及芯片设备技术领域。本实用新型包括固定板,固定板的内部开设有第一槽道,第一槽道的内部设置有两转动组件,转动组件包括:第一转动杆,第一转动杆的上侧安装有第一齿轮、两蜗杆;第一槽道的内部转动配合...该专利属于无锡德力芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡德力芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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