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本实用新型公开了一种半导体加工用清洁装置，包括清洁装置本体，清洁装置本体的顶端活动铰接有翻盖，清洁装置本体内壁的一侧固定安装有电机座，电机座的顶端固定安装有电机，电机的输出轴传动连接有旋转柱，旋转柱的一端与清洁装置本体内壁的另一侧穿插连接，...
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