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本发明公开了一种适用于第三代半导体材料兼容硅基等离子去胶机，包括等离子去胶机本体和底座，所述底座位于等离子去胶机本体的下方，底座的顶部开设有四个呈两两对称设置的安装槽，等离子去胶机本体的底部固定安装有四个支撑柱。本发明设计合理，实用性好，能...
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