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一种生产高纯湿电子化学品大流量微通道连续流反应器制造技术
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下载一种生产高纯湿电子化学品大流量微通道连续流反应器的技术资料
文档序号:33033532
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本发明公开了一种生产高纯湿电子化学品大流量微通道连续流反应器,涉及反应器技术领域。本发明包括进液部、反应部、出液部和散热部,换热部及其外侧套接的进液部配合安装在进排水部内,换热部包括上盘体、下盘体和反应管,上盘体和下盘体上均开有若干个通孔,...
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