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一种光波导垂直端面位置定准方法技术
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文档序号:33024279
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本发明涉及一种光波导垂直端面位置定准方法,包括以下步骤:S1:测量探测光的定位界面与直写光的实际加工位置之间的偏差,并定义该偏差为offset_z偏差;S2:测量探测光的定位位置与实际位置之间的偏差,并定义该偏差为aberration_z偏...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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