下载长晶炉进气结构及长晶炉的技术资料

文档序号:33020896

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本发明涉及晶体生长设备领域,公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉,所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖,炉体设有具有开口的反应腔体,端盖用于封闭开口,端盖设有测温通道,测温通道的一端与反应腔体连通,另一端设有测温窗,测温通道的通道壁设有用于向测温通...
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