温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种半导体上料装置结构,包括机架、传送带机构以及工件供给台,工件通过机械手机构从工件供给台转移至传送带机构,机械手机构包括安装架、抓手部以及抓手控制部,所述抓手控制部包括安装在安装架一侧的连接板,连接板的一侧设有滑槽和横向滑...该专利属于珠海诚锋半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海诚锋半导体设备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种半导体上料装置结构,包括机架、传送带机构以及工件供给台,工件通过机械手机构从工件供给台转移至传送带机构,机械手机构包括安装架、抓手部以及抓手控制部,所述抓手控制部包括安装在安装架一侧的连接板,连接板的一侧设有滑槽和横向滑...