下载硅片搬运系统的技术资料

文档序号:32987009

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本申请提供一种硅片搬运系统,涉及电池生产领域。硅片搬运系统包括前工序载板、后工序载板、搬运装置及升降台;前工序载板具有多个载板槽,用于承载硅片,后工序载板具有具有贯穿其厚度方向的多个载板孔,载板孔用于承载硅片;搬运装置包括移载机构和安装于移...
该专利属于东方日升(常州)新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东方日升(常州)新能源有限公司授权不得商用。

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