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本实用新型涉及MEMS压力传感器技术领域,公开了一种降低输出漂移的MEMS压力传感器芯片，包括衬底，衬底内部设有第一容腔和第二容腔，衬底上在第一容腔的顶面的区域为第一敏感膜，衬底上在第二容腔的顶面的区域为第二敏感膜，第一敏感膜和第二敏感膜上...
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