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本实用新型公开了一种光刻机硅片台双工位交换装置，包括底座，所述底座底部两端设有两个立架，两个立架之间设有水平设置的滑杠。电机架将电机和滑座连接为一个整体，进行齿轮传动时，两个滑座可同步移动，一个滑座移动至工作位，另一个滑座远离工作位，实现工...
该专利属于安徽睿芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽睿芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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