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连续型锭生长装置制造方法及图纸
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文档序号:32978913
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本实用新型涉及连续型锭生长装置,更具体地,涉及可通过感应加热方式来使固态硅材料熔融并向主坩埚进行供给的连续型锭生长装置。为此,本实用新型一实施方式的连续型锭生长装置可包括:生长炉,在内部设置有为了形成锭而收容熔融状态的硅的主坩埚;材料供给部...
该专利属于韩华思路信所有,仅供学习研究参考,未经过韩华思路信授权不得商用。
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