温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种大面积靶片用离子注入系统及离子注入方法，离子注入系统包括离子束产生模块、真空注入模块、装载模块和大气传送模块，离子束产生模块、真空注入模块、装载模块以及大气传送模块依次相连，即离子束产生模块连接到真空注入模块，真空注入模块与装...
该专利属于浙江兴芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江兴芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。