下载制备高质量多孔GaN模板晶体的方法的技术资料

文档序号:32968143

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本发明公开了一种制备高质量多孔GaN模板晶体的方法,其特征在于:采用卤化物气相外延方法在具有切割角的蓝宝石衬底上生长β
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