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气体判断装置、气体判断方法和气体判断系统制造方法及图纸
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文档序号:32964449
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本发明的气体判断方法使用具有场效应晶体管结构的传感器,该场效应晶体管结构包括:栅极电极;形成于栅极电极上的绝缘膜;形成于上述绝缘膜上的源极电极和漏极电极;以及形成于上述绝缘膜上且连接在上述源极电极与上述漏极电极之间的石墨烯层,该气体判断方法...
该专利属于太阳诱电株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过太阳诱电株式会社授权不得商用。
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