【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体判断装置、气体判断方法和气体判断系统
[0001]本专利技术涉及气体判断装置、气体判断方法和气体判断系统。
技术介绍
[0002]专利文献1中记载的传感器具有FET结构,该FET结构包括栅极电极、设置在栅极电极上的绝缘膜、设置在绝缘膜上的石墨烯膜、第一电极和第二电极。在专利文献1记载的传感器中,在检测对象的测量前,对第一电极和第二电极间施加一定电压,使栅极电极的栅极电压增减,并测量电流值Id。之后,在判断对象的测量中进行同样的操作。并且,将测量前后的、电流值Id成为最小的栅极电压Vg的变化ΔVg用于判断对象的判断评价。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2018
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163146号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]在气体传感器中,希望高精度地判断气体的种类。
[0008]鉴于以上的状况,本专利技术的目的在于,提供能够判断气体的种类的气体判断装置、气体判断方法和气体判断系 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体判断装置,其特征在于:所述气体判断装置使用具有场效应晶体管结构的传感器,所述场效应晶体管结构包括:栅极电极;形成于所述栅极电极上的绝缘膜;形成于所述绝缘膜上的源极电极和漏极电极;以及形成于所述绝缘膜上且连接在所述源极电极与所述漏极电极之间的石墨烯层,所述气体判断装置包括:控制对所述栅极电极施加的电压的控制部;获取部,其获取对施加了第一电压的所述栅极电极施加电压在所述第一电压与不同于所述第一电压的第二电压的范围内变化的扫描电压时,在所述源极电极与所述漏极电极之间流动的第一电流的变化,并获取对施加了所述第二电压的所述栅极电极施加电压在所述第一电压与所述第二电压的范围内变化的扫描电压时,在所述源极电极与所述漏极电极之间流动的第二电流的变化;以及判断部,其基于所述第一电流相对于所述扫描电压的变化的测量结果和所述第二电流相对于所述扫描电压的变化的测量结果,判断吸附于所述石墨烯层的气体的种类或者浓度。2.如权利要求1所述的气体判断装置,其特征在于:所述判断部,决定第一栅极电压,所述第一栅极电压为在所述第一电流的变化中电流值成为最小时施加于所述栅极电极的电压值,决定第二栅极电压,所述第二栅极电压为在所述第二电流的变化中电流值成为最小时施加于所述栅极电极的电压值,基于所述第一栅极电压和所述第二栅极电压判断所述气体。3.如权利要求1或2所述的气体判断装置,其特征在于:所述控制部将作为所述第一电压和所述第二电压的一定的电压分别在规定时间中施加于所述栅极电极。4.如权利要求1~3中任一项所述的气体判断装置,其特征在于:所述控制部将作为所述第一电压的负的电压施加于所述栅极电极,将作为所述第二电压的正的电压施加于所述栅极电极。5.如权利要求4所述的气体判断装置,其特征在于:所述控制部将作为所述第一电压和所述第二电压的、绝对值相等的电压施加于所述栅极电极。6.如权利要求1~5中任一项所述的气体判断装置,其特征在于:还包括输出部,所述输出部将由所述获取部获取到的电流变化信息和由所述判断部判断出的关于气体的种类或者浓度的信息向显示装置输出。7.一种气体判断方法,其特征在于,所述气体判断方法使用具有场效应晶体管结构的传感器,所述场效应晶体管结构包括:栅极电极;形成于所述栅极电极上的绝缘膜;形成于所述绝缘膜上的源极电极和漏极电极;以及形成于所述绝缘膜上且连接在所述源极电极与所述漏极电极之间的石墨烯层,所述气体判断方法中,对所述石墨烯层供给气体,
对所述栅极电极施加规定时间的第一电压,测量对所述栅极电极施加电压在所述第一电压与不同于所述第一电压的第二电压的范围内变化的扫描电压时,在所述源...
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