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提供一种曝光装置，该曝光装置一边使原版和基板在扫描方向上移动，一边对所述基板进行曝光，其特征在于，具有利用来自光源的光对所述原版的被照明面进行照明的照明光学系统，所述照明光学系统包括：第1遮光部，配置于从所述被照明面的共轭面向所述光源侧离开...
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