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本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用精度高的检测仪，包括底板，所述底板的顶部固定连接有底箱，所述底箱内腔底部的右侧通过转轴活动连接有从动齿轮，所述从动齿轮的顶部固定连接有放置箱。本实用新型通过第二伺服电机的输出端带动第一螺杆进行转动，第一螺...
该专利属于吴忠华所有，仅供学习研究参考，未经过吴忠华授权不得商用。

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