温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体晶圆技术领域，且公开了一种半导体晶圆用检测装置，包括底座，所述底座的底部两侧均安装有移动机构，所述底座的顶部安装有升降机构。该半导体晶圆用检测装置，通过固定板、第一滑槽、第一滑块、滑动板、替换膜、第二滑槽、第二滑块、固定...
该专利属于嘉兴鸿禹科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴鸿禹科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。