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本发明公开了一种用于氮化镓在液相中刻蚀的飞秒激光加工装置及方法，将飞秒激光脉冲聚焦到位于液相池中的氮化镓衬底表面，以飞秒激光脉冲作用点为中心，控制三维移动平台调整扫描间距和进给量，进行逐条扫描以及逐层扫描；然后控制激光快门实现激光束垂直交叉...
该专利属于燕山大学所有，仅供学习研究参考，未经过燕山大学授权不得商用。

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