下载一种具有横模抑制功能的声表面换能器的技术资料

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本实用新型公开了一种具有横模抑制功能的声表面换能器,该声表面换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层、温补层和钝化层,还包括负载层,该负载层设置于所述温补层之下,之上或设置于温补层之中,负载层不与所述叉指金属层接触,负载层位于指条间...
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