一种具有横模抑制功能的声表面换能器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有横模抑制功能的声表面换能器，该声表面换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层、温补层和钝化层，还包括负载层，该负载层设置于所述温补层之下，之上或设置于温补层之中，负载层不与所述叉指金属层接触，负载层位于指条间隙中和/或位于指条与汇流条的间隙中。本实用新型专利技术的声表面换能器在指条的间隙中和/或指条与汇流条的间隙中设置负载层，能够有效抑制谐振器、RF滤波器中横向模式的产生和传播，利用该结构制备的滤波器，温度漂移小、损耗低、通带波纹平坦。纹平坦。纹平坦。

【技术实现步骤摘要】
一种具有横模抑制功能的声表面换能器


[0001]本技术涉及声表面波器件
，特别是涉及一种具有横模抑制功能的声表面换能器。

技术介绍

[0002]普通声表面波滤波器(Standard Surface Acoustic Wave，STD
‑
SAW)以LiTaO3或者LiNbO3为晶片基底，STD
‑
SAW存在Q值低和中心频率对温度敏感的特性。LiTaO3材料的温度系数在大约
‑
40ppm/K左右，LiNbO3材料耦合系数较大，适合制作大带宽的滤波器，但它的温度系数则达到
‑
75ppm/K。因此，STD
‑
SAW滤波器已经难以满足频段越来越拥挤的5G时代射频终端对滤波器的要求，迫切需要发展具备高的温度稳定性的温补型声表面波滤波器(Temperature Compensation Surface Acoustic Wave,TC
‑
SAW)。
[0003]目前TC
‑
SAW技术有两种路线，一种是晶片键合的温补方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有横模抑制功能的声表面换能器，其特征在于，包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层、温补层和钝化层；还包括负载层，所述负载层设置于所述温补层之下，之上或设置于温补层之中，所述负载层不与所述叉指金属层接触，所述负载层位于指条间隙中和/或位于指条与汇流条的间隙中。2.如权利要求1所述的具有横模抑制功能的声表面换能器，其特征在于，所述负载层为设置在所述温补层之下，之上或设置在温补层中的导电层或不导电层；或者所述负载层为设置在温补层中的空洞层；当所述负载层为设置在温补层中的空洞层时，所述负载层位于指条间隙中和/或位于指条与汇流条的间隙中；或者所述负载层覆盖所述叉指金属层中的全部或部分指条端头。3.如权利要求1所述的具有横模抑制功能的声表面换能器，其特征在于，在水平方向上，所述负载层为多条直线段和/或曲线段围成的形状，所述负载层连续一体设置或者多段间断设置。4.如权利要求1或2或3所述的具有横模抑制功能的声表面换能器，其特征在于，所述负载层位于指条端头两侧或者...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚远，韩超，付先，陈曦，肖力，
申请(专利权)人：江苏卓胜微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：