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本发明提供了一种离子注入装置及其控制方法。所述离子注入装置包括载物部、转动控制部、N个转动部和温控管路，N为大于1的正整数。所述N个转动部顺次活动连接并通信连接所述转动控制部，所述转动控制部控制至少一个所述转动部转动以带动所述载物部进行转动...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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