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本申请公开了一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法和红外光谱仪,包括多个不同的第一光谱像元,每个第一光谱像元包括由下至上叠加的第一悬空像元结构和第二悬空像元结构;第二悬空像元结构包括微结构层,微结构层包括多个使第一光谱像元的光谱响应为宽带响应的...该专利属于睿创微纳(无锡)技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿创微纳(无锡)技术有限公司授权不得商用。
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