一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪技术

本申请公开了一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法和红外光谱仪，包括多个不同的第一光谱像元，每个第一光谱像元包括由下至上叠加的第一悬空像元结构和第二悬空像元结构；第二悬空像元结构包括微结构层，微结构层包括多个使第一光谱像元的光谱响应为宽带响应的特征微结构。本申请中的红外光谱芯片包括多个第一光谱像元，第一光谱像元包括第一悬空像元结构和第二悬空像元结构，且第二悬空像元结构包括多个特征微结构，使得第一光谱像元的光谱响应为宽带响应；由于本申请中直接在红外光谱芯片上设置特征微结构，降低入射光在红外探测器上的串扰，提升光谱测量精度，同时还可以提升红外探测器的良率，即提升红外光谱仪的良率。即提升红外光谱仪的良率。即提升红外光谱仪的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪


[0001]本申请涉及光谱仪领域，特别是涉及一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪。

技术介绍

[0002]中长波红外作为红外光谱的一个重要波段，包含了许多物质分子的固定吸收峰及指纹峰，因此，可以利用红外光谱仪测得中长波红外光谱信息，从而根据光谱信息进行物质检测。
[0003]目前，小型化红外光谱仪主要基于滤光片实现，包括可调法珀滤光片、窄带滤光片阵列和线性渐变滤光片。这些方式都基于窄带滤光片分光原理，在信噪比方面受到很大限制且工艺困难；通过在红外探测器窗口外侧贴装多通道微纳滤波芯片进行光谱测量可以解决信噪比低的问题，但此结构会导致入射光在红外探测器上出现串扰使光谱测量精度降低，同时贴装的方式使良率降低，提升了器件整体成本，集成度较低。
[0004]因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种非制冷红外光谱芯片及其制备方法、红外光谱仪，以在实现宽带响应的同时，提升光谱测量精度和红外光谱仪的良率，提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非制冷红外光谱芯片，其特征在于，包括多个不同的第一光谱像元，每个所述第一光谱像元包括由下至上叠加的第一悬空像元结构和第二悬空像元结构；所述第二悬空像元结构包括微结构层，所述微结构层包括多个使所述第一光谱像元的光谱响应为宽带响应的特征微结构。2.如权利要求1所述的非制冷红外光谱芯片，其特征在于，所述特征微结构为光子晶体或者等离激元结构或者多层薄膜层叠结构，其中，当所述特征微结构为光子晶体或者等离激元结构时，不同所述第一光谱像元中所述特征微结构的形状、尺寸、分布周期、排布形式中至少一个不同；当所述特征微结构为多层薄膜层叠结构时，多层薄膜的折射率高低间隔排布。3.如权利要求1所述的非制冷红外光谱芯片，其特征在于，每个所述第一光谱像元包括多个探测器像元。4.如权利要求1所述的非制冷红外光谱芯片，其特征在于，每个所述第一光谱像元包括一个探测器像元。5.如权利要求1所述的非制冷红外光谱芯片，其特征在于，还包括：第二光谱像元，所述第二光谱像元包括由下至上叠加的所述第一悬空像元结构和第三悬空像元结构；所述第三悬空像元结构包括第三支撑层和支撑连接孔。6.如权利要求1所述的非制冷红外光谱芯片，其特征在于，还包括：位于所述微结构层上表面的保护层。7.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君宇，王丹，赖芸，虞传庆，王鹏，甘先锋，董珊，陈文礼，王宏臣，
申请(专利权)人：睿创微纳无锡技术有限公司，
类型：发明
国别省市：