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基于TSV的串列型直接耦合腔体滤波器制造技术
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下载基于TSV的串列型直接耦合腔体滤波器的技术资料
文档序号:32920928
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本发明公开了一种基于TSV的串列型直接耦合腔体滤波器,包括相互平行设置的上层RDL和下层RDL,上层RDL和下层RDL之间设有硅衬底,硅衬底上分布有由TSV构成的四个谐振腔;上层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口。本发明...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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