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本发明公开了一种电容传感器晶圆测量厚度标定算法，利用所测的一组样本数据，确定影响电容传感器测量的变量，设计理论模型，通过设定估计值进行计算，反复迭代提高精度，确定模型系数，拟合模型。本发明提供了一种电容传感器晶圆测量厚度标定算法，通过样本数...
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