下载一种三维厚度自动检测系统及检测方法的技术资料

文档序号:32918779

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本发明公开了一种三维厚度自动检测系统及检测方法,包括三轴伺服工作台,所述三轴伺服工作台的顶部设置有Y轴滚珠丝杆模组和Y轴直线导轨模组,且Y轴滚珠丝杆模组的另一端设置有Y轴伺服电机。本发明设置了X轴伺服电机、Y轴伺服电机、测量平台、激光位移传...
该专利属于佛山(华南)新材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过佛山(华南)新材料研究院授权不得商用。

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