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石墨烯晶体管和制造石墨烯晶体管的方法技术
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文档序号:32900581
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本发明提供了制造石墨烯晶体管101的方法,所述方法包括:(a)提供具有基本平坦的表面的基底,其中所述表面包括绝缘区域110和相邻半导体区域105;(b)在所述表面上形成石墨烯层结构115,其中石墨烯层结构设置在绝缘区域和相邻半导体区域二者的...
该专利属于帕拉格拉夫有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过帕拉格拉夫有限公司授权不得商用。
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