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一种适用于对基板进行化学机械抛光的流体组合物，所述流体组合物可包括多价金属硼酸盐、至少一种氧化剂和溶剂。所述流体组合物可基本上不含磨料颗粒并且可以实现高材料去除率和优异的表面光洁度。率和优异的表面光洁度。率和优异的表面光洁度。
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该专利属于圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司授权不得商用。

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